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第二百六十四章 水的奥秘

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在场的十四个研人员都是周硕一手挑出来的大才,谁的心思不是一点就透。有几个甚至就是中科院里,参加了o.8微米全套工艺开的研究员。他只是透出一点话头,这群人的眼睛立刻就亮了起来。

使用水作为沉浸液还面临着很多的问题,比如说光刻胶的溶解、水中的杂质和稳定性,蒸扰动以及水中气体的去除……

但这些问题和提高精密制造水平,根本不可同日而语。精密制造那是拼基础积累的领域,但拼化学和系统设计,中国人可是太有信心了。

传承自苏联的中国科学家,在系统设计方面可是深谙如何用巧妙方法克服困难要求的。至于某些方面技不如人的自卑,那就完全没有必要了。这种处境既可以叫穷国的无奈,也可以叫展中国家的后优势,全看人们从什么角度解读了。

以中国未来取得的成就来看,大可自豪的说是属于后一种角度。

“唔,我看这个路线说不定可以。”涂岸北缓缓的点了点头,笑道:“周校长这个办法确实是奇思妙想,我看有尝试一下的必要。”

“我也觉得能成。”他身边之前质问周硕的中年男人,也不自觉的点头道:“如果光刻胶的防溶解配方一时拿不出来,我看可以增加一组镜头把水和晶圆隔离开。”

“水中的气体可以通过真空法去除,这样我们就只需要考虑蒸造成的扰动了……”

这十四个研究狂人,在周硕指出了路线之后,很快就一个个都找到了自己专业的切入点。丝毫不在意之前自己还对这个计划表示反对,和实打实的科技成果比起来,面子值几个钱?国家投入十几个亿,花费了三年时间才把工艺从1.2微米推进到o.8微米。如果被自己从o.8微米再推进到o.5微米,恐怕当前实验室里又要多几个能领国.务.院津贴的了吧!

周硕笑着点头道:“大家不要着急,我已经为你们每个人的研究内容,专门写了个计划书。接下来一个月,我们只要能够按部就班的完成计划书里的研究任务,肯定就能准时的拿出o.5微米工艺生产线。”

涂岸北看着周硕从一旁推出来的文件车,窘迫的笑着摇了摇头说道:“之前真不应该怀疑周校长,你可从来都是谋定而后动啊!有这种东西也不早拿出来,不然哪来这么多麻烦?”

周硕拱了拱手,笑嘻嘻的说道:“怪我、怪我,涂老你千万大人有大量!”

这也是周硕一直以来在研究管理上的心得,直接上来就拿出试验计划,下面人难免会觉得反正是老板的项目,做起来多少会有些懈怠没有动力。但如果事先通过启的方式,让下面人了解了自己的思路和意图,那么他们就会把这个实验当做是自己验证知识的过程。可别小看这似乎多此一举的行为,周硕又不是全知全能的神。给出的试验计划里难免有疏漏和谬误的地方,研究员的积极性和主观能动性这时可就是实验成败的关键了。

众人从周硕推出来的文件车上,取了自己负责方向的计划书。在净室里面,即使是纸质文件也不能裸露出来的,每一份文件的每一页,都是用透明塑料进行了严格的密封。这让他们拿到手里之后,计划书显得颇有分量。

涂岸北翻了几页实验计划书,感叹的向周硕问道:“既然有这样的技术,我们何必去买日本人的设备?改造一批国产的o.8微米工艺生产线,我们立刻就能追上国际主流水平了。”

周硕微微摇了摇头,遗憾的说道:“这就是我把它命名为杜鹃计划的原因,沉浸式光刻机在目前的技术上并不成熟。又不是呆着没事我才把实验室设在地下的,建造成本就多出来不知道多少倍造价。但地下实验室也有很多好处,比如说温度恒定、精密设备受到的干扰少等等。要知道沉浸式光刻机的关键在水,而水一旦受到一丝晃动,放大到芯片上都是不能接受的。”

“我们的o.5微米工艺,除了光源以外仍然是o.8微米的底子,这势必就会造成生产困难和良品率极低。只有让日本人相信我们已经掌握了o.5微米工艺,为了扼杀我们的研究成果,打开向国内供应o.5微米生产线的口子。接下来得到他们的o.5微米线,才能补全这条线的工艺基础。”

他斩钉截铁的说道:“只要能够真正和美、日站在同一个起跑线上,我不信中国人就一定会在这场比赛中仍然落败。”(未完待续。。)

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